公司新闻

超低湿露点仪和微量水分仪的校准

     所谓超低湿是指霜点在一750CDP以下,即体积含水量在(1—1000)ppbV的气体湿度。近年来各类超低湿湿度仪器开始进入我国并大量应用于微电子行业,用来检测生产过程中使用到的各种超纯气体中的水分含量,这对于保证纳米级集成电路的质量十分重要。另外,石油化工、冶金等领域也涉及到超低湿测量,如石化原料丙烯的含水量要控制到一760CDP以下,否则会造成大废。 
     目前适合于超低湿测量且工业上应用较多的主要有以下几种:一是电解式湿度仪,其测量原理十分经典,准确度也比较高,但维护比较麻烦,其测量下限*低为10ppbv,典型的品牌如美国MEECO;二是石英震荡式湿度仪,其测量下限*低为lppbv,但准确度不如电解式,一般为±20%,目前仅美国AMETEK生产;三是激光衰荡式,其测量下限*低可达lppbv以下,美国TIGER公司生产;以上三类主要应用于微电子行业。另外还有阻容式,主要应用于石化行业,特点是廉价但稳定性差。阻容式的生产厂家比较多,经验显示,好的阻容式仪器*低可测至—900CDP。以上四种对气体介质的适用性比较宽。此外,还有冷镜式,主要应用于实验室,一般只适合于测量非凝结、非腐蚀性气体。
     对于以上几类湿度仪,尽管很多生产厂商都宣称自己的仪器是优良方法或带有自校功能,用户在仪器的寿命期内无需校准,但根据我们的经验,这些仪器在使用一段时间后会发生漂移,因此为保证测量结果的可靠性,定期校准是必要的。
     国内超低湿的校准还在起步阶段,为了进行这项工作,我们引进了英国MICHELL的S4000TRS型精密露点仪和美国THUNDER的3900型双压低露点发生器,前者测量下限达一1000cDP,标称精度为±0.1℃DP;后者发生下限达_950cDP,标称精度为4-0.1℃DP。采用以上设备,我们对几种湿度仪进行了校准。
    超低湿时管路影响至关重要,我们采用BA级管和卡套接头时渗漏量仍较大,必须采用比较大的流量才能达到低露点,更好的措施是可能采用EP级管和VCR接头。
     通过对发生器和露点仪的比对,确定了超低湿时露点标准值的准确度,从而实现对超低湿微量 在线水分仪 的校准。

尊敬的客户:    
      您好,我司是一支技术力量雄厚的高素质的开发群体,为广大用户提供高品质产品、完整的解决方案和上等的技术服务公司。主要产品有  塑胶水分测定仪,水份测定仪,水分仪,快速水分测定仪 等。 本企业坚持以诚信立业、以品质守业、以进取兴业的宗旨,以更坚定的步伐不断攀登新的高峰,为民族自动化行业作出贡献,欢迎新老顾客放心选购自己心仪的产品。我们将竭诚为您服务!